台積電改變立場，計畫引進High-NA EUV微影技術

在經過數月的爭議後，台積電似乎改變了立場，至少ASML發言人莫妮克·莫爾斯表示，該公司將在今年向台積電交付價值3.8億美元的High-NA EUV光刻機。這項消息使得ASML股價開盤後上漲超過6%。英特爾已於2022年宣布購買5台此類設備，用於2025年生產Intel 18A晶片。