国内企业在碳化硅单晶生长领域的进展

2020年，超芯星公司宣布成功研制了国内首台HTCVD碳化硅单晶生长设备。此外，天岳先进公司和晶格领域半导体公司也在液相法方面取得了进展，成功生产出大尺寸碳化硅晶体。