上海優睿譜半導體設備公司成功交付晶圓邊緣檢測設備SICE200

近期，上海優睿譜半導體設備有限公司順利向客戶交付了晶圓邊緣檢測設備SICE200。這款設備主要用於矽基和化合物半導體基板及外延晶圓的邊緣缺陷檢測。