上海ウルプ半導体設備有限公司がウェーハエッジ検査装置SICE200を納入に成功

最近、上海ウルプ半導体設備有限公司はウェーハエッジ検査装置SICE200を顧客に納入することに成功しました。この装置は主にシリコン系、化合物半導体基板やエピタキシャルウェーハのエッジ欠陥検査に使用されます。