Vấn đề chi phí trong chuỗi công nghiệp cacbua silic

130
Việc ứng dụng rộng rãi các thiết bị cacbua silic bị hạn chế bởi chi phí sản xuất cao, đặc biệt là chi phí cho quá trình nền và epiticular, chiếm tới 70%. Ngược lại, chi phí sản xuất wafer back-end của các thiết bị dựa trên silicon tương đối cao, chiếm 50% và chi phí chất nền chỉ chiếm 7%.