ASML mengumumkan cetak biru teknologi untuk mesin litografi Hyper-NA EUV generasi berikutnya

ASML telah mengumumkan cetak biru teknis untuk mesin litografi Hyper-NA EUV generasi baru, yang saat ini sedang dalam tahap awal pengembangan. Martin van den Brink, mantan chief technology officer perusahaan, mengatakan bahwa mesin litografi Hyper-NA EUV perlu meningkatkan sistem sumber cahaya dan meningkatkan efisiensi produksi hingga 400 hingga 500 wafer per jam.