ASML oikuaauka plano tecnológico máquina de litografía Hyper-NA EUV generación oúvape guarã

ASML oikuaauka plano técnico generación pyahu máquina de litografía Hyper-NA EUV, oiméva ko'ágã etapa inicial desarrollo-pe. Martin van den Brink, ex jefe de tecnología empresa-gua, he'i máquina de litografía Hyper-NA EUV oikotevêha omohenda porãve sistema fuente de luz ha ombohetave eficiencia producción 400 a 500 oblea por hora.