廣東匯成真空科技與武漢理工大學合作開發SiC晶圓外延單晶片系統

廣東匯成真空科技股份有限公司近日宣布，已與武漢理工大學簽訂合​​作協議，共同開發SiC晶圓外延單晶片系統的真空系統、溫場和氣路系統。