広東省恵城真空技術は武漢理工大学と協力してSiCウエハーエピタキシャルマイクロコントローラーシステムを開発

広東恵城真空技術有限公司はこのほど、武漢理工大学とSiCウエハーエピタキシャルマイクロコントローラーシステムの真空システム、温度場、ガス経路システムを共同開発する協力協定を締結したと発表した。