国内碳化硅器件和衬底发展状况

国内碳化硅MOS晶圆厂包括山东比亚迪、南京55所、绍兴中芯、上海积塔、义乌瞻芯、厦门士兰微、深圳基本半导体、深圳华为、广州新粤能等。这些公司目前仅生产器件，衬底仍依赖进口。