米アプライドマテリアルズ、サムスン電機にガラスコア基板スパッタリング装置を供給

報道によると、米国の半導体・表示装置メーカー、アプライドマテリアルズがサムスン電機にガラスコア基板用のスパッタリング装置を供給する。サムスン電機がTGV（ガラス電極貫通）プロセスのメタライゼーション部分を社内化することを決定し、関連するパイロット設備を設置していることがわかった。