米国商務省、コヒレントに7,900万ドルを授与

米国商務省は、チップおよび科学法に基づいてコヒレントに直接補助金として7,900万ドルを提供したと発表した。この資金は、6インチおよび8インチSiC基板の生産能力を増強するため、ペンシルベニア州イーストンにあるコヒレントの既存製造施設の拡張を支援する。さらに、この資金はコヒレント社の施設のSiCエピタキシャルウェーハ製造能力、生産ラインのバックエンド処理、電子性能と信頼性テスト能力の拡大を支援することになる。この拡張が完了すると、コヒレントのSiC基板生産能力は年間75万枚以上、年間エピタキシャルウェーハ生産量の2倍以上に増加する。