上海超矽半導體打造全球領先的全自動智慧化300毫米矽晶片生產基地

上海超矽半導體在上海松江和重慶分別設立了300毫米矽片（含薄層外延片）生產基地和200mm矽片（含外延片、氬氣退火片、SOI片等）生產基地，同時也擁有晶圓再生生產基地。本公司與一流大學共建半導體材料先進技術聯合實驗室，致力於提升產品品質與技術水準。公司自主研發並製造​​了關鍵的晶體生長設備，包括雷射晶體生長裝備、200毫米和300毫米單晶矽晶體生長爐系統等。此外，公司也客製化開發了關鍵300毫米矽片加工製程裝備，自主開發了SOI整合製造核心關鍵裝備。