上海スーパーシリコン半導体は世界有数の全自動インテリジェント300mmシリコンウェーハ生産基地を構築

上海スーパーシリコンセミコンダクターは、松江市、上海市、重慶市にそれぞれ300mmシリコンウェーハ（薄層エピタキシャルウェーハを含む）と200mmシリコンウェーハ（エピタキシャルウェーハ、アルゴンアニールウェーハ、SOIウェーハなどを含む）の生産拠点を設立しました。クリスタルサークルのリサイクル生産拠点を有しております。当社は一流大学と共同で半導体材料先端技術の共同研究室を構築し、製品の品質と技術レベルの向上に努めております。レーザー結晶成長装置や200mm、300mmの単結晶シリコン結晶成長炉システムなど、主要な結晶成長装置を独自に開発・製造しています。さらに、同社は主要な300mmシリコンウェーハ加工技術装置をカスタマイズおよび開発し、SOI一貫生産のためのコアキー装置を独自に開発しました。