Die maatskappy het voorheen genoem dat hy reeds litografiebelyningsinspeksiemasjienprodukte het en die bod vir die Shanghai Xinwei Semiconductor-verkrygingsprojek gewen het. Watter rol speel die litografiebelyningsinspeksiemasjien in die verskillende prosesskakels van halfgeleierlitografie aan boord? Wat is die vooruitsig van huishoudelike vervanging? Dankie

Tianjue Tegnologie: Hallo, dankie vir u aandag aan ons maatskappy. MueTec het die bod vir Sjanghai se nuwe toerusting vir mikro-oorlegfoutmeting in 2021 gewen. Oorlegfoutmeettoerusting word hoofsaaklik gebruik om die belyningsfout tussen die voor- en agterstapels in die halfgeleiervervaardigingsproses te meet. Die oorlegfoutmeettoerusting kan 65-90nm-prosesnodes dek foutmetingstoerusting vir meer gevorderde prosesse.