Kostenanalyse von Siliziumkarbid-Bauelementen

In der Kostenstruktur von Siliziumkarbid-Geräten machen Substrat, Epitaxie und Geräte jeweils 46 %, 23 % und 20 % aus. Das Substrat ist der Kern der Kostensenkung bei Siliziumkarbid. Derzeit liegt der Preis für ein 6-Zoll-Siliziumkarbidsubstrat bei etwa 900 US-Dollar pro Stück und damit um ein Vielfaches höher als bei herkömmlichen Halbleitern auf Siliziumbasis. In Zukunft dürften Siliziumkarbid-Substrate die Produktionskosten weiter senken und ihre Wettbewerbsfähigkeit auf dem Markt steigern, indem sie die Materialausnutzung steigern, in Richtung größerer Größen gehen, die Ausbeute verbessern und die Kristallwachstumsprozesse verbessern.