中国电科48所成功实现SiC外延设备首次大规模批量发货

2025年2月9日，中国电科48所旗下的30台套SiC外延设备顺利实现批量出货，这是48所首次实现大规模批量发货。这些设备是专门用于SiC设备环节构建的，旨在提升设备性能和效率，实现更高的良率和更低的缺陷水平。目前，该设备已成功出货百余台套，并在客户现场稳定运行。