三星計劃在韓國華城園區安裝首套High-NA EUV，預計2025年中啟用

根據報道，三星將於2024年第四季至2025年第一季在韓國華城園區開始安裝首套High-NA EUV，預計2025年中啟用，首先會用於開發2nm以下邏輯製程，以及先進的DRAM晶片製程。三星也計劃與Lasertec、JSR、Tokyo Electron和Synopsys合作，打造High-NA EUV生態系統。