Samsung planuje zainstalować swój pierwszy EUV High-NA w Hwaseong w Korei Południowej, którego oddanie do użytku planowane jest na połowę 2025 r.

Według doniesień Samsung rozpocznie instalację pierwszego układu High-NA EUV w swoim parku Hwaseong w Korei Południowej w okresie od czwartego kwartału 2024 r. do pierwszego kwartału 2025 r. Oczekuje się, że zostanie on oddany do użytku w połowie 2025 r., a w pierwszej kolejności będzie wykorzystywany do opracowywania procesów logicznych poniżej 2 nm i zaawansowanych procesów wytwarzania układów DRAM. Samsung planuje również współpracę z firmami Lasertec, JSR, Tokyo Electron i Synopsys w celu zbudowania ekosystemu EUV o wysokiej rozdzielczości NA.