Samsung วางแผนที่จะติดตั้ง High-NA EUV เครื่องแรกในฮวาซอง เกาหลีใต้ ซึ่งคาดว่าจะเริ่มใช้งานจริงได้ในช่วงกลางปี ​​2025

มีรายงานว่า Samsung จะเริ่มติดตั้ง High-NA EUV ตัวแรกที่ Hwaseong Park ในเกาหลีใต้ตั้งแต่ไตรมาสที่ 4 ปี 2024 ถึงไตรมาสแรกของปี 2025 โดยคาดว่าจะเริ่มใช้งานในกลางปี ​​2025 และจะใช้เพื่อพัฒนาขั้นตอนตรรกะที่ต่ำกว่า 2 นาโนเมตรและขั้นตอนชิป DRAM ขั้นสูงก่อน นอกจากนี้ Samsung ยังวางแผนที่จะร่วมมือกับ Lasertec, JSR, Tokyo Electron และ Synopsys เพื่อสร้างระบบนิเวศ High-NA EUV