Samsung berencana memasang EUV High-NA pertamanya di Hwaseong, Korea Selatan, yang diharapkan akan mulai digunakan pada pertengahan tahun 2025

Dilaporkan bahwa Samsung akan mulai memasang EUV High-NA pertama di Hwaseong Park di Korea Selatan mulai kuartal keempat tahun 2024 hingga kuartal pertama tahun 2025. Diharapkan dapat mulai digunakan pada pertengahan tahun 2025 dan pertama-tama akan digunakan untuk mengembangkan proses logika di bawah 2nm dan proses chip DRAM tingkat lanjut. Samsung juga berencana berkolaborasi dengan Lasertec, JSR, Tokyo Electron dan Synopsys untuk membangun ekosistem EUV High-NA.