インテル、世界初の高開口数EUVリソグラフィー装置の設置を完了

ASMLは現在、10数台のHigh NA EUVリソグラフィー機を受注している。今年4月、インテルは世界初のHigh NA EUVリソグラフィー機の設置を主導的に完了した。最近、インテルのCEOパット・ゲルシンガーは2024年第2四半期の決算発表会で、オレゴン州にある同社の半導体研究開発拠点に2台目のHigh NA EUVリソグラフィー機がまもなく導入されることを明らかにした。