Samsung achiziționează instrumentul de inspecție al măștilor EUV High-NA de la Lasertec

Se pare că Samsung a achiziționat Actis A300 de la Lasertec, un instrument de inspecție a măștilor EUV High-NA. Inspectarea măștilor semiconductoare folosind instrumente dedicate High-NA EUV poate îmbunătăți contrastul cu mai mult de 30% în comparație cu instrumentele tradiționale dedicate EUV.