High-NA EUV設備價格高且尺寸較大

High-NA EUV設備更昂貴，售價達3.8億~4億美元，其成像範圍減半，這將需要對晶片設計進行重大更改。此外，與Low-NA系統相比，High-NA EUV系統的尺寸更大，這意味著晶片製造商需要重新考慮其晶圓廠佈局以適應這些新設備。