邑文科技主营半导体前道工艺设备研发和制造

邑文科技是一家专注于半导体前道工艺设备的研发和制造的公司，主要生产刻蚀工艺设备和薄膜沉积工艺设备。这些设备广泛应用于半导体（IC及OSD）前道工艺阶段，特别是在碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）、砷化镓（GaAs）等化合物半导体和MEMS等特色工艺领域。