ASML与imec合作开发高端节点技术，助力2nm以下研发

根据合作协议，ASML和imec将利用ASML的高端节点技术，如0.55 NA EUV、0.33 NA EUV、DUV浸没、YieldStar光学计量和HMI单光束和多光束技术，为国际半导体生态系统提供最先进的2nm以下研发基础设施。