中微半导体设备出货量破5000台

中微半导体设备（上海）股份有限公司宣布，截至2025年2月底，其等离子体刻蚀设备反应台全球累计出货量突破5000台，其中CCP设备装机量超4000台，近四年年均增长37%，ICP设备装机量超1000台，同期年均增速达100%。目前设备已进入全球130余条芯片生产线，覆盖5纳米及更先进制程。资料显示，2024年度中微公司实现营业收入90.65亿元，同比增幅达44.73%。核心业务刻蚀设备收入72.77亿元，同比增长54.73%。