ASML og imec samarbejder om avanceret nodeteknologi for at understøtte R&D under 2nm

I henhold til samarbejdsaftalen vil ASML og imec udnytte ASMLs avancerede nodeteknologier såsom 0,55 NA EUV, 0,33 NA EUV, DUV immersion, YieldStar optisk metrologi og HMI enkeltstråle- og multistråleteknologier til at give det internationale halvlederøkosystem state-of-the-art F&U-under- og D2-struktur.