ASML och imec samarbetar om avancerad nodteknologi för att stödja FoU under 2nm

Enligt samarbetsavtalet kommer ASML och imec att utnyttja ASML:s avancerade nodteknologier såsom 0,55 NA EUV, 0,33 NA EUV, DUV immersion, YieldStar optisk metrologi och HMI enkelstråle- och multi-beam-teknologier för att förse det internationella halvledarekosystemet med state-of-the-art R&D sub-D2-struktur.