ASML va imec 2nm dan past bo'lgan ilmiy-tadqiqot ishlarini qo'llab-quvvatlash uchun yuqori darajadagi tugun texnologiyasida hamkorlik qiladi

Hamkorlik shartnomasiga ko'ra, ASML va imec ASML ning 0,55 NA EUV, 0,33 NA EUV, DUV immersion, YieldStar optik metrologiyasi va HMI bir nurli va ko'p nurli texnologiyalari kabi yuqori darajadagi tugun texnologiyalaridan foydalanadilar.