ASML ja imec teevad koostööd tipptasemel sõlmetehnoloogia alal, et toetada uurimis- ja arendustegevust alla 2 nm

443
Koostöölepingu kohaselt kasutavad ASML ja imec ASML-i tipptasemel sõlmetehnoloogiaid, nagu 0,55 NA EUV, 0,33 NA EUV, DUV-kümblus, YieldStari optiline metroloogia ning HMI ühe- ja mitmekiirelised tehnoloogiad, et pakkuda rahvusvahelisele pooljuhtide ökosüsteemile teadus- ja arendustegevuse tipptasemel infrastruktuure.