ASML နှင့် imec သည် 2nm အောက် R&D ကို ပံ့ပိုးရန်အတွက် အဆင့်မြင့် node နည်းပညာတွင် ပူးပေါင်းဆောင်ရွက်ပါသည်။

ပူးပေါင်းဆောင်ရွက်မှုသဘောတူညီချက်အရ ASML နှင့် imec တို့သည် 0.55 NA EUV၊ 0.33 NA EUV၊ DUV နှစ်မြှုပ်မှု၊ YieldStar optical metrology၊ နှင့် HMI single-beam နှင့် multi-beam နည်းပညာများကို နိုင်ငံတကာ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် ကဏ္ဍခွဲ၏ အခြေခံအဆောက်အအုံဆိုင်ရာ ပံ့ပိုးပေးရန်အတွက် HMI single-beam နှင့် multi-beam နည်းပညာများကို ပံ့ပိုးပေးမည်ဖြစ်သည်။