ASML dan imec berkolaborasi pada teknologi node kelas atas untuk mendukung R&D di bawah 2nm

Berdasarkan perjanjian kolaborasi tersebut, ASML dan imec akan memanfaatkan teknologi node canggih ASML seperti 0,55 NA EUV, 0,33 NA EUV, perendaman DUV, metrologi optik YieldStar, serta teknologi HMI single-beam dan multi-beam untuk menyediakan ekosistem semikonduktor internasional dengan infrastruktur R&D sub-2nm yang canggih.