ASML និង imec សហការគ្នាលើបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំងកម្រិតខ្ពស់ដើម្បីគាំទ្រ R&D ក្រោម 2nm

443
ក្រោមកិច្ចព្រមព្រៀងសហការ ASML និង imec នឹងប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំងកម្រិតខ្ពស់របស់ ASML ដូចជា 0.55 NA EUV, 0.33 NA EUV, DUV immersion, YieldStar optical metrology, និង HMI single-beam and multi-beam technologies ដើម្បីផ្តល់នូវប្រព័ន្ធ semiconductor state-art-2 ។