ASML و imec در فناوری نود پیشرفته برای پشتیبانی از تحقیق و توسعه زیر 2 نانومتر همکاری می کنند.

بر اساس قرارداد همکاری، ASML و imec از فناوری‌های گره پیشرفته ASML مانند 0.55 NA EUV، 0.33 NA EUV، DUV immersion، اندازه‌شناسی نوری YieldStar و فناوری‌های تک پرتو و چند پرتوی HMI برای ارائه زیرساخت‌های نیمه‌رسانا بین‌المللی با اکوسیستم دولتی-ofn-art-R استفاده می‌کنند.