ASML的Twinscan NXE:3800E系统性能提升

根据ASML发布的2021版路线图，Twinscan NXE:3800E系统将比上一代的3600D在对准精度和产能上有明显提升，每小时吞吐量可达195片晶圆，相比3600D的160片提高了近22%，并有望达到220片的目标。