英特尔前技术长兼执行长基辛格现担任xLight执行董事长,xLight是一家专注于开发极紫外线曝光系统光源技术的新创公司。EUV曝光机技术先进,目前只有ASML能制造相关系统。基辛格表示,xLight已经创建了高功率LPP来源,这将大幅度降低生产成本和费用。他们计划在2028年开始生产这种光源,并且希望它能与现有的ASML工具兼容。
英特尔前技术长兼执行长基辛格现担任xLight执行董事长,xLight是一家专注于开发极紫外线曝光系统光源技术的新创公司。EUV曝光机技术先进,目前只有ASML能制造相关系统。基辛格表示,xLight已经创建了高功率LPP来源,这将大幅度降低生产成本和费用。他们计划在2028年开始生产这种光源,并且希望它能与现有的ASML工具兼容。