北京大学微纳电子器件与集成技术全国重点实验室介绍

北京大学电子学院是国内领先的微纳电子及集成电路科技研究与教育基地。该学院拥有完整的微米/纳米加工工艺线，研究内容包括MEMS陀螺仪、加速度计等一系列MEMS器件。