三星电子投资智能传感器项目

三星电子正在向其智能传感器项目投入数千万韩元的资金，希望通过长期投资获得回报。这些智能传感器用于测量晶圆上的等离子体均匀性，这对于半导体制造过程中的蚀刻、沉积和清洁等工艺至关重要。