英特爾採用最新光刻機，台積電暫不跟進

英特爾已在18A製程使用ASML的High NA EUV微影機，但台積電並未急於採用此昂貴設備。台積電業務開發及全球銷售資深副總裁張曉強表示，儘管High NA EUV能力令人印象深刻，但設備價格超過3.5億歐元。台積電將繼續使用標準型EUV光刻機進行生產。