인텔, 최신 리소그래피 장비 도입, TSMC는 당분간 뒤따르지 않을 듯

인텔은 18A 공정에서 ASML의 High NA EUV 리소그래피 장비를 사용해 왔지만, TSMC는 이 고가의 장비를 도입하는 데 서두르지 않았습니다. TSMC 사업 개발 및 글로벌 영업 부문 수석 부사장인 샤오창 장(Xiaoqiang Zhang)은 High NA EUV 성능이 인상적이기는 하지만 장비 가격이 3억 5천만 유로를 넘는다고 말했습니다. TSMC는 생산에 표준 EUV 리소그래피 장비를 계속 사용할 예정입니다.