Intel antar den senaste litografimaskinen, TSMC kommer inte att följa efter för tillfället

328
Intel har använt ASMLs High NA EUV-litografimaskin i sin 18A-process, men TSMC har inte brådska att ta i bruk denna dyra utrustning. TSMCs senior vice president för affärsutveckling och global försäljning, Xiaoqiang Zhang, sa att även om High NA EUV-kapaciteten är imponerande, så överstiger utrustningspriset 350 miljoner euro. TSMC kommer att fortsätta använda vanliga EUV-litografimaskiner för produktion.