Az Intel átvette a legújabb litográfiai gépet, a TSMC egyelőre nem követi a példát.

Az Intel az ASML High NA EUV litográfiai gépét használja a 18A folyamatában, de a TSMC nem siet a drága berendezés bevezetésével. A TSMC üzletfejlesztésért és globális értékesítésért felelős alelnöke, Xiaoqiang Zhang elmondta, hogy bár a High NA EUV képességei lenyűgözőek, a berendezés ára meghaladja a 350 millió eurót. A TSMC továbbra is szabványos EUV litográfiai gépeket fog használni a gyártáshoz.