Intel นำเครื่องพิมพ์หินรุ่นล่าสุดมาใช้ ส่วน TSMC จะไม่ดำเนินการตามต่อไปในขณะนี้

328
Intel ได้ใช้เครื่องพิมพ์ลิโธกราฟี High NA EUV ของ ASML ในกระบวนการ 18A แต่ TSMC ก็ไม่รีบร้อนที่จะนำอุปกรณ์ราคาแพงนี้มาใช้ Xiaoqiang Zhang รองประธานอาวุโสฝ่ายพัฒนาธุรกิจและการขายทั่วโลกของ TSMC กล่าวว่าแม้ว่าความสามารถ High NA EUV จะน่าประทับใจ แต่ราคาอุปกรณ์ก็สูงเกิน 350 ล้านยูโร TSMC จะยังคงใช้เครื่องพิมพ์หิน EUV มาตรฐานในการผลิต