اینتل جدیدترین دستگاه لیتوگرافی را به کار می‌گیرد، TSMC فعلاً از این روند پیروی نخواهد کرد

اینتل در فرآیند 18A خود از دستگاه لیتوگرافی High NA EUV شرکت ASML استفاده کرده است، اما TSMC عجله‌ای برای به‌کارگیری این تجهیزات گران‌قیمت ندارد. شیائوکیانگ ژانگ، معاون ارشد توسعه کسب‌وکار و فروش جهانی TSMC، گفت که اگرچه قابلیت‌های High NA EUV چشمگیر است، اما قیمت تجهیزات از ۳۵۰ میلیون یورو فراتر می‌رود. TSMC همچنان از دستگاه‌های لیتوگرافی EUV استاندارد برای تولید استفاده خواهد کرد.