Intel-ი უახლეს ლითოგრაფიულ მანქანას იყენებს, TSMC კი ამ ეტაპზე მის მსგავსად არ იმუშავებს.

Intel-ი თავის 18A პროცესში ASML-ის High NA EUV ლითოგრაფიულ მანქანას იყენებდა, თუმცა TSMC ამ ძვირადღირებული აღჭურვილობის დანერგვას არ ჩქარობს. TSMC-ის ბიზნესის განვითარებისა და გლობალური გაყიდვების უფროსმა ვიცე-პრეზიდენტმა, სიაოკიანგ ჟანგმა განაცხადა, რომ მიუხედავად იმისა, რომ High NA EUV შესაძლებლობები შთამბეჭდავია, აღჭურვილობის ფასი 350 მილიონ ევროს აჭარბებს. TSMC კვლავაც გააგრძელებს სტანდარტული EUV ლითოგრაფიული მანქანების გამოყენებას წარმოებისთვის.