顶立科技投资3.7亿建设碳化钽及碳化硅涂层石墨部件项目

顶立科技计划投资3.7亿元人民币，用于建设碳化钽及碳化硅涂层石墨部件研发项目。该项目将新增研发和生产设备，预计年产60000套碳化钽涂层石墨件和5000套SiC涂层石墨基座/盘。