屹唐股份持续增加研发投入

屹唐股份2022年至2024年，公司研发费用分别为52,985.07万元、60,816.15万元和71,689.40万元，占营业收入比例分别为11.13%、15.47%和15.47%。在干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备领域，公司实现了多项技术突破与创新。