清华大学与连科半导体签署大尺寸碳化硅电阻炉及外延炉项目合作协议

2023年11月，清华大学与连科半导体签署了关于大尺寸碳化硅电阻炉及外延炉项目的合作协议。双方将共同推动碳化硅电阻炉与外延炉技术的研究与开发，助力中国半导体产业的发展。