北方华创第三代半导体业务取得突破

北方华创第三代半导体业务取得突破，具备300台/月的6英寸碳化硅长晶炉交付能力，8英寸碳化硅长晶设备开发3种机型，碳化硅外延炉、刻蚀机销售近200台。